中微公司：冉冉升起的国际半导体装备“新星”

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记者李兴才编辑邱江

经过四轮问答，由尹志耀(中卫公司创始人、董事长兼总经理)带领的公司在短短两个多月内，即6月11日晚，披露了招股说明书的初稿。

作为“四问”后第一个参加会议的公司，中卫公司的“真功夫”是什么？“技术研发能力优秀，产品性能良好，中威公司的市场竞争力不可低估。”华灿光电总裁刘荣对中国微电子公司大规模使用mocvd设备(金属有机化合物的化学气相沉积是生产led芯片的关键设备)发表了评论。另一位资深半导体设备业内人士评论道，“这是一颗从冉冉崛起的国际半导体设备‘新星’！”

从蚀刻设备打破国际领先企业在中国市场的垄断，到成为mocvd的全球领导者，再到5纳米等离子蚀刻设备在世界领先晶圆制造工厂的应用，中国微公司始终站在最前沿，用技术创新为“中国核心”保驾护航。

打破外国垄断的专利诉讼从未失败过

谈到半导体，中国人首先想到的是被国际先进技术“卡住脖子”，尤其是半导体设备，这是中国人长期的“心痛”。如今，中卫公司凭着自己的坚韧和努力，一点一滴地改变了这种局面。

2015年，美国商务部工业与安全局(bis)发布了一项特别公告:由于一家中国公司生产的等离子蚀刻机的质量和数量与美国设备公司相同，因此取消了对中国出口蚀刻机的管制。该公司是中国微型半导体设备世界新秀。

此后，中国微公司在mocvd领域取得了巨大的成功。2010年，中国微电子公司开始研发led器件加工最关键的设备——mocvd，到2017年，逐渐打破了美国veeco、德国Aisiqiang等国际厂商的垄断。

为什么中国微公司能打破外国垄断？在业界眼中，这是一家拥有“巨型基因”的公司。2004年，尹志耀带领一支豪华的全球化团队，成立了中威公司，致力于半导体设备的国产化。当时，尹志耀在半导体领域工作了20年，在英特尔、林凡半导体、应用材料等国际顶级半导体公司担任重要职务，在半导体设备领域有着丰富的经验。中卫公司的其他联合创始人和核心技术人员，如杜志友、倪图强、麦士毅等也是该领域的顶尖人才。

集成电路是一个“十年冷板凳”的行业，尤其在半导体设备细分领域。中威公司在这一领域跋涉了11年，才迫使美国放弃其在蚀刻机械领域的垄断地位；经过14年的奋斗，它在全球氮化镓基led mocvd设备市场占据领先地位。

真正的高科技公司在研发方面处于领先地位。2016年至2018年，中国微R&D的支出分别为3.02亿元、3.3亿元和4.04亿元，分别占其当期收入的49.62%、34%和24.65%。

2017年11月，veeco申请禁止sgl向中威公司出售使用其专利的石墨盘，中威公司最终赢得了起诉veeco专利侵权的关键专利有效性审判。

这是尹志尧最引以为豪的事情之一——凭借强大的自主研发能力，中威公司从未输过任何专利诉讼。

招股说明书显示，截至2018年底，中国微公司在国内外共涉及知识产权诉讼案件4起，其中专利案件2起，商业秘密案件2起，公司达成和解或胜诉，证明公司拥有坚实的知识产权地位和应对复杂国际知识产权挑战的能力，为公司健康发展提供了有力保障。

“中卫公司面临国际巨头的诉讼并不奇怪。它所做的就是抓住那个巨大的蛋糕。”一家国际半导体设备公司的高管向记者解释说，半导体行业实际上是一个高度集中的市场，几乎每个细分市场的前三名公司都占据了近90%的市场份额，新进入者自然受到压制。

蚀刻设备被驱动到5纳米

Mocvd国际先进行列

TSMC在5月的技术论坛上透露，第一阶段的5纳米工艺生产线已经开始安装，预计明年第一季度量产。因此，中卫公司再次成为市场的焦点。

中威公司在招股说明书中披露，其自主研发的等离子刻蚀设备已广泛应用于国际先进的14纳米、7纳米和5纳米生产线。

成立之初，中威就将目光投向了蚀刻设备领域。“等离子刻蚀机的加工精度相当于头发加工精度的千分之一，而且要求连续稳定。”在上述国际半导体设备公司的高管看来，正是技术和设计领域的高超技术，以及几十年的坚持，才使中威有实力打破垄断。

短短三年，2007年，中威公司生产了第一代介质刻蚀机。同年7月，中威公司进入零二宝集团“2007年中国最具投资价值企业50强”名单。也就是说，在这一年里，中国微电子公司成了国际半导体巨头的眼中钉，专利诉讼开始持续。

目前，中威公司在蚀刻设备和mocvd领域已进入全球先进行列。

在刻蚀设备领域，中威公司表示，14-7纳米ccp介质刻蚀机和ccp先进逻辑电路刻蚀设备的研发和产业化已达到国际先进水平，而ccp存储器刻蚀设备正在追赶先进水平。

"优秀的研发能力和良好的产品性能."华灿光电总裁刘荣在大规模购买和使用中威公司的mocvd后接受采访时给出了这样的评价。目前，中威公司已开发了三代mocvd设备，高温mocvd设备、30英寸大尺寸mocvd设备和新型高产mocvd设备已达到国际先进水平。该产品已被萨南光电、华灿光电、赣兆光电等众多一流的led制造商大量采购，并逐渐被国内产品所取代。

由于实力雄厚，中威公司承担了多项国家重大科技项目。招股说明书显示，自2009年以来，中威公司承担了65-45纳米介质刻蚀机、32-22纳米介质刻蚀机、22-14纳米介质刻蚀机及关键部件国产化、14-7纳米介质刻蚀机、刻蚀工艺部件验证及应用等国家重大科技项目的研发和产业化，以及高端mocvd设备研发和产业化，上海450毫米大型刻蚀机研发

在半导体设备领域开拓创新、攻城战中，中威公司赢得了大奖，赢得了软手。据披露，中威公司获得了69项知名奖项，如在2018年超大规模集成电路研究“客户满意度”调查中，在全球半导体设备公司中排名第三，在蚀刻和清洗设备供应商中排名第二，在全球薄膜沉积设备供应商中排名第一。

旨在为国内集成电路在世界范围内的发展带来深远的利益

“随着中国半导体行业的不断发展，中威公司迎来了一个快速成长的时期。”对于中国微公司的发展前景，一些行业研究人员认为，在摩尔定律的指导下，世界上有60多条新生产线，其中40%以上在中国，这给中国微公司带来了巨大的机遇。

“到2020年，仅芯片前端设备的市场规模将达到300亿至400亿美元。”尹志尧在2017年的一次演讲中引用了相关数据，描述了中国微公司从事蚀刻和化学薄膜设备的良好市场前景。“据我们统计，从2016年到2020年，半导体设备的投资为748亿美元，其中等离子刻蚀设备的投资约为134.7亿美元，微刻蚀机可以获得相当大的份额。”

虽然前景光明，但道路是曲折的。尹志尧和中卫公司在创业之初，也同样受到“金钱”的折磨。

半导体设备人士认为，高技术、高投资和高风险是半导体行业的典型特征；再加上投资周期长，在半导体设备领域更难找到面向市场的基金。

此时，政府基金，尤其是像国家集成电路产业投资基金(“大基金”)这样的专项基金的重要性就凸显出来了。据披露，从2016年到2018年，中伟公司开始了几轮融资，并引进了众多具有国有背景的机构股东，如迅鑫投资、上海风险投资、CDB创新、浦东新兴等。

根据招股说明书，中伟公司的第一大股东上海创业投资有限公司和第二大股东迅新投资有限公司分别持有中伟公司20.02%和19.39%的股份。其中，迅新投资成立于2014年12月，是该大型基金的100%控股子公司。上海风险投资是上海科技风险投资(集团)有限公司的全资子公司，实际控制人是上海SASAC。

“回顾半导体发展的历史，在政府的支持下，各国的半导体设备工业得到了蓬勃发展。”上述行业研究人员充分肯定了政府对行业的支持。

中国微电子公司的快速发展也有力地证明了政府支持在半导体领域，尤其是半导体设备和材料领域发挥着非常重要的作用。根据财务数据，中卫公司2016年至2018年的营业收入分别为6.1亿元、9.72亿元和16.39亿元，年均复合增长率为64.00%；归属于母亲的净利润分别为-2.39亿元、2991.87万元和9086.92万元。

“虽然中国微公司非常成功，但迄今为止，它只从国际巨头的口中撕下了一小块肉。面对90%以上的市场份额和长期积累的R&D技术能力，中威公司一刻也不能懈怠。”一些来自国际半导体设备制造商的人士提醒，在半导体设备领域，如果他们不能进入世界前两名的行列，面对技术的快速迭代，公司将无法形成长期的市场竞争力和可持续的R&D能力。