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在6日的互动平台上回答投资者的提问时，金宏气体表示，氩可用于等离子体沉积和蚀刻工艺，也可用于深紫外光刻激光器中半导体芯片的最小特征图案。
标题：金宏气体：氩气可用于深紫外光刻激光器中半导体芯片的最小特征的图案上
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金宏气体：氩气可用于深紫外光刻激光器中半导体芯片的最小特征的图案上
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